内页banner

解决方案

当前位置: 首页 > 解决方案 > 解决方案
光谱仪协助半导体制程改进

光谱仪协助半导体制程改进

  • 所属分类:解决方案
  • 浏览次数:
  • 发布时间:2021-11-11 07:57:55
  • 详细介绍

海洋光学与等离子体蚀刻技术的领先制造商合作,探索适合检测关键晶圆蚀刻终点的全光谱等离子体监测解决方案


挑战

随着全球对半导体的需求迅速增长,该行业已做好投资于节约成本的工艺改进,以及开发日益复杂的半导体设计和配方的准备。为满足当今的技术发展并应对不断扩大的市场,半导体代工厂需定量、准确和高速的过程测量。


半导体和微机电系统(MEMS)即将达到设计极限,通过减小尺寸或提高速度来进一步改进几乎不可能。相反,制造商专注于晶圆质量、可重复性和总产量以及提高生产能力。其目标是满足日益增长的智能电子产品需求,同时保持生产成本和价格竞争力。


 image.png


见解

快速分析微弱等离子体或晶圆光谱有助于完善刻蚀工艺参数,同时可以提高晶圆质量。将基于光谱仪的等离子体测量与功能强大的软件结合,可说明等离子体、腔室和视口的变化状态,并对深度刻蚀或薄型设计特点的z微弱信号非常敏感。


光谱有助于更精确地检测终点,从而能够设计更复杂的晶圆形状和图案。由于制造商可以准确地停止和启动生产过程,因此可以制造更小的,同时减少错误和减少晶圆上的不可用空间。此外,随着终点检测变得越来越准确,可以使用更薄的不同材料层,即使说这些材料产生微弱、难以辨别的光谱特征和更紧密的峰值。


image.png

解决方案

海洋光学与一家领先的半导体行业设备供应商合作,以推动终点检测技术的发展。我们定制的光谱仪(Ocean SR2 和 Ocean HDX 是等离子体监测应用的良好选择),可提供半导体制造所需的快速、高灵敏度、精准分辨率和多功能连接能力。


借助海洋光学的硬件和支持,设备供应商不断改进和完善其为半导体行业提供的蚀刻技术。其领先的等离子体加工和先进的封装解决方案支持与无线设备、光子学、固态照明和 MEMS 设备相关的新兴技术。


下一篇:水流的质量2021-11-11

相关产品

相关新闻

公司始终紧跟时代脉搏,科技创新,注重客户需求,为客户提供专业及多元化的产品服务...

联系我们

郑州市金水区红专路政六街科技大厦412

0371-61315161

yunzhiqi2021@126.com

关注我们

  • 联系我们

  • 手机网站

Copyright © 河南蕴之齐电子科技有限公司 All rights reserved 备案号:豫ICP备2022022630号 主要从事于光纤光谱仪厂家,微型光谱仪厂家,应变振动测试系统, 欢迎来电咨询!
技术支持: 祥云时代 主营区域: 河南 郑州 开封 洛阳 平顶山 新乡 焦作 三门峡 商丘 驻马店 营业执照